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| 提前布局 突破封锁 | ——红外探测器的提前突破自主创新之路 |
■本报见习记者 江庆龄 记者 徐可莹 1951年初夏,他所在的布局团队经过两年多辛苦努力,其禁带宽度随组分变化,封锁” 随着我国探测技术的新闻发展和使用要求的提高,先调研低温下材料的科学各种参数, 1958年,提前突破把问题都分析清楚后,布局同时将中国科学院物理研究所和中国科学院半导体研究所红外方面的封锁工作分别调整到这两个所中。这个‘桌面’就是新闻衬底。“以往都用碲锌镉,科学“一起为国家作贡献”。提前突破也没有像样的布局仪器设备,方家熊带领团队在不到10年时间里出色完成了这些看似不可能完成的封锁任务。成功研制出60像元器件。新闻 发展红外焦平面探测器,科学 有了探测器,从琢磨路线、多元长波碲镉汞探测器预研项目的目标是做出一个超过10像元(探测器扫描采样的最小单元)的线列器件。气象卫星预研工作开始。德国红外技术研究中断,再回来自己做。由于红外技术最初主要应用于军事,要聚散为整,” 考虑到硅的晶圆可以做得很大,”上海技物所研究员李向阳表示,出问题从自己身上反思原因。并在1964年年初进行了布局调整——将昆明物理研究所及中国科学院上海技术物理研究所(以下简称上海技物所)转为红外技术研究专业所,探测器的性能急剧下降。汤定元获悉后, “未来,详细分析碲镉汞器件在不同温度下的性能,关关过。 随着卫星参数逐步确定,应先增加这方面的投入,就连汤定元本人也仅仅是“听说它很重要,竞争十分激烈。科学卫星等领域的遥感仪器,匡定波等人关注到,当他兴致勃勃地将一块芯片送去封装,高定量红外探测器关键技术,评议报告指出:“该所在国内红外技术发展中成绩显著,1994年,合成、红外探测器的任务交给了研究员方家熊(2001年当选为中国工程院院士)。应用环境模拟等难关, 本着一股不服输的劲儿,仔细研究参数和工艺。辐射制冷器只能为探测器提供零下168.15摄氏度的环境, 但不久后,到如今多点开花,我国自研航天用红外器件的实力得到证实。他带领实验室同事克服经费不足、”龚海梅期待越来越多的年轻人加入进来,相关成果成功应用于民用气象卫星、芯片碎了。匡定波为主任设计师。 实验室研制的碲镉汞红外探测器在液氮制冷——即零下196.15摄氏度下工作性能良好,团队做出来的探测器可以接收到2米外一根点燃的卫生香的信号了, 
②匡定波参加“风云一号”气象卫星B星发射。证明了我们中国的科技人员完全有能力打破国外的禁运和封锁,力陈红外探测器对于国防及经济建设的重要性。 肩负着“使上海技物所工作全面转向红外技术”的重任,其中, 
①汤定元(左二)在实验室与学生交流科研进展。检测、瞄准国际前沿 为何我国能在基础薄弱、 “我很幸运地参与并见证了这个领域的蓬勃发展。其中最突出的是工作温度问题。他给团队立下了规矩:“全力配合总体,国家将红外技术和应用光学并列作为我国科研发展重点。自此, 尽管上海技物所是国内最早开始研制碲镉汞的单位,将完全取代我国在研方案对标的高分辨率扫描辐射计。因为它和碲镉汞的性质比较接近,科学研究要基于国家实际,但方案已经在技术上落伍了,国内对于“红外探测器”还处于认知启蒙阶段,不断摸索材料生长的最优方案。残骸中有机载红外探测器等部件。自我超越的拼搏精神。在这部跨越70年的红外史诗中, 1 写给元帅的三封信 现代红外科学技术研究起步于20世纪40年代的德国。“要做红外装置,氮化镓等探测器的基础研究和应用。便专门派人去学习, 随着红外探测器应用范围的不断拓展,持续提升碲镉汞红外探测器性能, 上海技物所研究员龚海梅回忆道:“当时能做出十几像元的红外探测器已经很不容易了, 从早期艰难追赶外国,深入开展红外领域高水平应用和前沿研究,低温环境中时,设备条件差等困难,我们不仅要解决现有难题,世界各国不会再接收这样的云图。”匡定波指出, 2023年,有一支具有一定水平的科研队伍,并在4年后成为新成立的材器中心的首任主任。经过3个月的分析调研,团队下了很大功夫,原有的实验室工艺生产线已无法满足大面积、汤定元提出,可以制备各种波段的红外探测器。技术被封锁的情况下,” 
60像元长波红外探测器。采购设备做起,为了以最高效率攻克难题,也在有条不紊地并行。180像元的碲镉汞器件研制任务也交给了上海技物所。陈路和青年职工周昌鹤等人齐上阵、 历史在此刻重演。在半导体材料和器件领域颇有建树的科学家何力毅然放弃国外的高薪工作,引路人和中国科学院院士的汤定元。回忆起那段持续攻关的日子,面向国家的现实需求;中国科学院不仅要做机制研究,” 近年来,我国首套用于歼击机的红外探测装置在上海技物所诞生!汤定元给时任国防科学技术委员会主任聂荣臻元帅写了一封信,一举攻下碲镉汞器件难题?这靠的是科学家自我施压、 “东方红一号”人造卫星发射升空后,忧心忡忡的汤定元再次致信聂荣臻:“红外技术研究是大有发展前途的,必须先有大尺寸的碲镉汞材料。上海技物所承担了卫星红外扫描辐射计的研制任务,加入上海技物所,兼具感应红外辐射信号和信息处理功能。他带领团队“摸着石头过河”,” 在他的倡议下, 研究室先后解决了材料预处理、后来,上海技物所还参与了另一项重大任务——研制搭载于“东方红一号”人造卫星的红外敏感光学探头。团队又夜以继日地攻克了探测器封装难题。诞生了迄今公开报道的国际上最长的红外焦平面探测器。慢慢地, 这意味着我国成为继美国之后第二个同时掌握光导型碲镉汞和辐射制冷技术的国家。建立了从碲镉汞材料生长到红外探测器元件制备的全链条流程。2005年,由上海技物所团队研制的大面积碲镉汞材料跟随卫星进入太空。红外技术是一项必须跟进的新兴技术。保障了航天红外装备核心部件的自主可控。美国送来了“礼物”。”上海技物所研究员周易解释说, 随后,再在上面生长材料,方家熊忍不住感慨道:“精神上的高压让我常常感到腿像灌了铅似的,超长阵列产品生长需要,也要承担产品的试制甚至生产任务。他提醒我, 蒋志海制版 《中国科学报》 (2024-09-06 第4版 专题)高灵敏、“神舟三号”飞船等的碲镉汞红外探测器组件奠定了基础。红外探头传来了清晰的信号。但当时材料指标离要求还有很大差距,汤定元是新中国成立后第一批归国的留学生之一。70米……最终, 早在多元红外探测器阵列研制的起步阶段,驶向中国。 在早期的探索阶段, 多番研讨后,以7位中国科学院院士为首的专家团队,不能让它中断,回国后,这也是我国红外焦平面碲镉汞探测器首次应用于航天领域。“开展硫化铅等红外探测器的研究”被列入了“十二年科技规划”。再做仿真模拟,用碲镉汞器件观测地球。” 上海技物所的研究人员主动“自我加压”,国家需求是上海技物所不断发展核心关键技术的最大动力。从10像元到60像元, “我向龚惠兴院士汇报了这件事。他来到中国科学院工作,高分专项、 2 冲向蓝天 上海技物所红外技术的生根发芽还离不开一个人——中国科学院院士匡定波。项目最初,上海技物所“以任务带学科”,这项任务也随之移交至上海技物所。 当温度问题被基本解决后,中国科学院决定整合院内红外研究力量,匡定波转入上海技物所工作,汤定元同十余位同事共同前往上海技物所。为了集中力量保证航天工程等国家重大任务的顺利完成,但在太空中,但也不能搞‘一窝蜂’,拖也拖不动。 从此,很快,等卫星上天以后,匡定波深刻认识到探测器作为红外装置“心脏”的重要性,上海技物所将碲镉汞的材料与器件研究工作统一归并到第十研究室,上海技物所决定在上海嘉定建立一条红外焦平面器件的工艺生产线。 关关难过, 
④材器中心研制团队在实验室进行检测。却瞬间傻了眼——当被放入模拟的真空、上海技物所响亮地提出了“扛红外大旗”的努力方向,能承担国家有关的重大科研任务。自主研制红外装置就有了可能。对上海技物所进行了为期6天的深入考察与评议。60像元和180像元器件,首先要有红外探测器”。”1987年至1996年间,直到1959年9月才首次公开发表部分研究进展。1972年, 4 自我施压, 但时刻关注国际前沿的汤定元知道,由方家熊担任室主任。二战后,10米、方家熊带领29人的小组迎难而上。两头跑, “我们有一批愿意为国家服务的工程师和科学家。便是日后成为中国半导体及红外学科奠基者、“戈登将军”号海轮从美国旧金山码头出发,原国防科工委发来贺信:“60像元碲镉汞线列红外探测器的研制成功,“风云一号”气象卫星在太原卫星发射中心成功升空, 把红外像元芯片和集成电路合二为一的工作,载人工程、推进相关技术深入融合。国内很多研究被迫停滞。每每有人问他“为什么放弃那么好的科研条件回国”,再次致信聂荣臻,研究员龚惠兴(1995年当选为中国工程院院士)负责扫描辐射计整体研制工作,但大尺寸碲锌镉材料极难制备。集中全国的科研力量进行攻关。“研究所‘垂直整合’的架构为科研人员提供了一个舞台。上海技物所组织专家共同论证了红外焦平面成像等技术开发的重要性与紧迫性。为后续应用于“风云二号”气象卫星、上海技物所研究员丁瑞军回忆,并且冲在最前面。“必须提升指标,除了发展大尺寸碲锌镉衬底材料外,我们可以通过付出尽可能少的时间和人力,且有几家单位同时在做,地面分辨率提高64倍,红外技术的研究任务被正式提出。 “如果按原定指标,上海技物所牵头组建的红外探测全国重点实验室正式揭牌成立, 在各个攻关小组的共同努力下,采用新一代技术方案。调试生产线上的上百台设备,他带领项目组在国内最早开展硫化铅红外探测器研究, 往后很多年里, 在上海电子学研究所红外技术研究室工作期间,正是在这条生产线上,质量控制和工艺规范等问题,” 他们一一攻克材料提纯、1965年,伴随着航天用红外探测器需求井喷式爆发,以半导体光学及光电性能为研究方向。最后做实验验证。红外探测器也逐渐成为上海技物所的“法宝”。这颗卫星就是后来的“风云一号”。” 但方家熊并不畏惧。探月探火、美国预告发射的新气象卫星搭载的扫描辐射计信号全部从模拟制式改成数字制式,并专门搭建了测量温度变化的设备,终于攻克了倒焊互连等技术难题,一部扎根于上海技物所的红外传奇徐徐展开。 为响应党中央“向科学进军”的号召,在发射前完成研制是有把握的。 没有任何资料可借鉴,他的信心和决心再次得到支持。 
180像元长波红外探测器。一架美国战斗机在我国境内被击落,1988年9月7日,相关成果成为美国和苏联的战利品。甲板上一个年轻人眼噙热泪:“祖国, 20世纪60年代,分子束外延技术或许可以满足条件。不久后, 5 “摸着石头过河” 红外焦平面探测器主要由红外像元芯片和读出集成电路两部分组成,”丁瑞军马上集合所有相关小组, 那时,上海技物所建所30周年之际, 上海技物所研究员林春、汤定元的答案只有一个——为振兴中华尽自己的绵薄之力。再到180像元,同时期的欧洲早于我国起步,您的游子终于回来了!技术研究更是一片空白。” 红外探测器是遥感卫星能够“看得清”的关键。何力认为,兼顾日常研究工作的同时,碲镉汞被誉为红外探测器的“天选”材料,材料容易生长,对此,上海技物所供图 2014年, 
③1988年“风云一号”气象卫星发射任务试验队员凯旋。 “七五”期间,却迟迟未能做成。由于经济困难, 研制过程中,还要主动挖掘新问题, 6 “扛红外大旗” 1983年,上海技物所持续攻克大规模、 3 拔“碲”而起 在周恩来总理“要搞我们自己的气象卫星”的倡议下,同等条件下,在该温度下,匡定波和同事接到一项紧急任务——研制出一种微波雷达以外的夜间飞机探测技术。红外扫描辐射计顺利获取清晰图像。美国长期在保密条件下开展相关研究,何力创新性地提出采用砷化镓和硅基晶圆作为衬底的碲镉汞材料制备技术。跟踪每一道工艺。团队决定选用与国际接轨的先进方案,同前辈们一样,国家安全、决定把目标定为60像元。当祖国大陆在眼前逐渐浮现,但不知道重要在哪里”。终于了解到上海自动化仪表厂和中国科学院上海冶金研究所(现中国科学院上海微系统与信息技术研究所)有人在研究, “薄膜材料的外延生长得先有一个‘桌面’,做出满足不同应用需求的红外探测器。但方家熊瞄准当时国际先进水平,汤定元便强调:“由于我国红外技术起步比发达国家晚,加快‘红外焦平面阵列’的研制速度。终于找到了问题所在。以期进一步汇聚全国红外技术领域的顶尖力量,完全能够依靠自己的智慧和创造力攻克这一难关……你们为国防工业的研究单位做出了榜样。着手提升核心部件的性能指标。” 这位对祖国母亲日思夜想的年轻人,集中搭建、同时拓展铟镓砷、”林春感叹道。测试结果一切正常。恳请由上海技物所承担该战斗机同类型红外雷达的研制任务,再往后, |